特許
J-GLOBAL ID:200903095885756618

当接型測定器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木下 實三 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-199642
公開番号(公開出願番号):特開平9-049722
出願日: 1995年08月04日
公開日(公表日): 1997年02月18日
要約:
【要約】【課題】 反アッベ構造の測定器であっても、加工精度や剛性を大幅に高くしなくても、精度の向上が図れる当接型測定器を提供する。【解決手段】 スライダ2の傾き角度θを検出する姿勢検出手段26と、誤差補正回路22を設ける。姿勢検出手段26は、一対のY軸測長センサ12y,13yと、このセンサ12y,13y の変位量の差分からスライダ2の傾き角度θを算出する傾き量算出回路25とから構成する。誤差補正回路22は、スライダ2の傾き角度θに基づくジョー4の測定点Pにおける誤差δを求め、この誤差δをX軸測長センサ11で検出されたスライダの移動量xから補正する。
請求項(抜粋):
本体と、この本体に摺動自在に設けられかつ被測定物に当接される測定子を有するスライダと、このスライダの移動量を検出する測長手段とを備え、前記測長手段の測長軸線から外れた位置に前記測定子が位置する当接型測定器において、前記本体に対する前記スライダの傾き量を検出する姿検出手段と、この姿勢検出手段で検出されたスライダの傾き量に基づく前記測定子の測定点における誤差を前記測長手段で検出されたスライダの移動量から補正する誤差補正手段とを備えることを特徴とする当接型測定器。
IPC (2件):
G01B 21/02 ,  G01B 3/20 101
FI (2件):
G01B 21/02 H ,  G01B 3/20 101 Z

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