特許
J-GLOBAL ID：200903095887491069
半透明膜の設計方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-028592
公開番号（公開出願番号）：特開平7-239546
出願日： 1994年02月25日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 従来の半透明位相シフト膜を位相差,透過率という間接的な情報でとらえるのではなく、屈折率,消衰係数,膜厚といったより具体的な情報で且つ性格に捕らえ、これらの許容範囲を明確にすることを可能とした半透明膜の設計方法を提供すること。【構成】 半透明膜の屈折率n,消衰係数k及び膜厚dを決定する半透明膜の設計方法において、任意の屈折率nに対しこのnを固定値として考え、任意の消衰係数k及び膜厚dを用いて多重反射計算により得られる位相差φ,透過率tを算出し、位相差φに対する所望値と計算値の誤差を膜厚dに、透過率tに対する所望値と計算値の誤差を消衰係数kに還元し、多重反射計算と還元を繰り返すことで迅速に且つ精度よく所望の位相差φと透過率tを満足する屈折率n,消衰係数k,膜厚dを求める。
請求項（抜粋）：
半透明膜の露光波長λにおける任意の屈折率nに対し、該半透明膜の露光波長λにおける消衰係数k及び膜厚dの初期値を与える工程と、前記半透明膜の屈折率n,消衰係数k,膜厚d及び該半透明膜を形成した基板と空気の屈折率,消衰係数,膜厚から多重反射を考慮し、前記半透明膜の透過率tc ,透明部分と半透明膜を透過する光の位相差φc を算出する工程と、前記算出した透過率tc ,位相差φc を所望の透過率t,位相差φと比較する工程と、前記比較して得られた位相誤差,透過率誤差からそれぞれ消衰係数k,膜厚dを再設定する工程とを備え、前記再設定された膜厚d,消衰係数kを基に、前記透過率tc ,位相差φc の算出工程及び比較工程を行い、且つ透過率tc ,位相差φc の両方が所望値φ,tと一致するまで、前記再設定する工程、算出する工程、及び比較する工程を繰り返すことを特徴とする半透明膜の設計方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 502 P
, H01L 21/30 528
