特許

J-GLOBAL ID：200903095890495326

温度補償型定容吸着装置を用いる吸着量測定方法および装置

発明者： 鈴木 勲
出願人/特許権者： 鈴木 勲
代理人 (1件)： 猿渡 章雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-063874
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304256
出願日： 1996年02月27日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【構成】 互いに体積および形状のほぼ等しい一対の参照用ビュレットと、試料用ビュレットとを対称に配置し、該両ビュレットに、また互いに体積および形状のほぼ等しい参照用吸着セルと、試料用吸着セルとをそれぞれ結合し、更に該両ビュレットに導入可能に結合された吸着気体供給源と、該両ビュレット内部の圧力を測定可能な圧力計とを有する温度補償型定容吸着装置を用い、一旦両ビュレット内に導入した吸着気体を、更に、それぞれの吸着セルへ膨張・吸着せしめた後、生じた両ビュレット間の差圧に基づいて、吸着気体の吸着量を求めるに際して、参照用吸着セルに対する吸着量を補償して試料用吸着セルに対する吸着量を求める。【効果】 10cm2 というような小さな表面積を有する試料への吸着量ならびに表面積が正確に測定可能になり、また試料の表面性状の正確な判定も可能となる。

請求項（抜粋）：

互いに体積および形状のほぼ等しい一対の参照用ビュレットと、試料用ビュレットとを左右対称に配置し、該両ビュレットに、また互いに体積および形状のほぼ等しい参照用吸着セルと、試料用吸着セルとをそれぞれ結合し、更に該両ビュレットに導入可能に結合された吸着気体供給源と、該両ビュレット内部の圧力を測定可能な圧力計とを有してなる温度補償型定容吸着装置を用い、一旦両ビュレット内に導入した吸着気体を、更に、それぞれの吸着セルへ膨張・吸着せしめた後、生じた両ビュレット間の差圧に基づいて、吸着気体の吸着量を求めるに際して、参照用吸着セルに対する吸着量を補償して試料用吸着セルに対する吸着量を求めることを特徴とする試料の吸着量測定方法。