特許

J-GLOBAL ID：200903095893149771

静電チヤツク

発明者： 久保田 芳宏 ,  川合 信 ,  小嶋 伸次
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-323688
公開番号（公開出願番号）：特開平5-138473
出願日： 1991年11月12日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は導電性、半導電性、絶縁性の対象物を強い静電力で吸着保持する静電チャックの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の静電チャックは、プラス電極とマイナス電極の電極パターンを形成し、各々の電極に電圧を印加して静電力を発生させ、吸着する静電チャックにおいて、プラス電極とマイナス電極のギャップ距離の最小値と、プラス電極およびマイナス電極の電極パターンの総面積の比が1×10-4〜 1.5×10-2cm-1の範囲にあることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

プラス電極とマイナス電極の電極パターンを形成し、各々の電極に電圧を印加して静電力を発生させ、吸着する静電チャックにおいて、プラス電極とマイナス電極のギャップ距離の最小値と、プラス電極およびマイナス電極の電極パターンの総面積の比ギャップ距離の最小値/電極パターンの総面積が1×10-4〜 1.5×10-2cm-1の範囲にあることを特徴とする静電チャック。