感放射線性樹脂組成物及び感放射線性樹脂パターンの形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内山充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-323673
公開番号（公開出願番号）：特開2006-133585
出願日： 2004年11月08日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】フラットパネルディスプレイ分野に好適に用いられる、低温での熱フローが可能で、かつ剥離残の問題のない感放射線性樹脂組成物、及び前記樹脂組成物を用いる感放射線性樹脂パターンの形成方法を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂と、(B)キノンジアジド基含有化合物と、(C)アリル基を有する特定構造のフェノール化合物を含む感放射線性樹脂組成物、及び(a)前記樹脂組成物を基板に塗布し、(b)この基板をプリベイクしてレジスト膜を形成した後、(c)レジスト膜に活性放射線を照射してパターンの潜像を形成し、次いで(d)アルカリ現像液で現像処理した後、(e)ポストベイクして感放射線性樹脂パターンを形成するに際し、前記(e)ポストベイクが、100〜140°Cの雰囲気下で行われる感放射線性樹脂パターンの形成方法である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂と、(B)キノンジアジド基含有化合物と、(C)フェノール化合物とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、前記(C)成分のフェノール化合物が、一般式(I)

IPC (3件)：

G03F 7/004 , G02F 1/136 , G03F 7/40

FI (3件)：

G03F7/004 501 , G02F1/136 , G03F7/40 501

Fターム (31件)：

2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AB17 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB29 , 2H025CB42 , 2H025CC20 , 2H025FA01 , 2H025FA29 , 2H092JA24 , 2H092JA34 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092JB21 , 2H092JB56 , 2H092KA12 , 2H092KB21 , 2H092MA15 , 2H092MA16 , 2H092NA11 , 2H092NA15 , 2H092NA27 , 2H096AA26 , 2H096AA27 , 2H096BA10 , 2H096DA01 , 2H096GA08 , 2H096HA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平3-200251号公報

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