ランプ用管体の洗浄方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-123204
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329241
出願日： 1998年05月06日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】ランプ管体の洗浄の洗浄が、容易で、かつランプ用管体の表面の白やけの発生を防止し、ミクロな石英粉、繊維くず、金属くずおよび油脂成分等を除去する。【解決手段】真空ポンプ1が接続された容器2内のランプ用管体置台5上にランプ用管体6を載置する。次に、容器2内にCF4ガスおよびN2ガスを流し込む。そして、高周波電源7によって陽極電極板3と陰極電極板4との間に電圧を印加して、陽極電極板3と陰極電極板4との間にプラズマ放電を起こさせ、その放電中でランプ用管体6をプラズマ放電洗浄する。

請求項（抜粋）：

ランプ用管体表面を四フッ化炭素(CF4)と窒素(N2)とを含むガスによるプラズマ放電によって洗浄する工程を含むことを特徴とするランプ用管体の洗浄方法。

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