特許
J-GLOBAL ID：200903095900355412
積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇高 克己 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-372396
公開番号（公開出願番号）：特開2001-189499
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 耐湿性に優れ、しかも低コストな積層型圧電アクチュエータを提供する。また、形状の制約を受けず、それを所期のものとすることができる積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】 圧電体層4と内部電極層5とが交互に積層されてなる積層体1と、前記内部電極層5を用いて電圧を印加した際の前記積層体の変位方向と交わる、前記積層体の上端面および下端面を除いて前記積層体を覆うよう、前記積層体に接した状態で設けられた第1の被膜2と、この第1の被膜の外側に前記積層体の全ての面を覆うよう設けられた第2の被膜3とを具備し、前記第2の被膜における、少なくとも前記積層体の上端面および下端面に対応した部分の厚さが、50μm以下である積層型圧電アクチュエータ。
請求項（抜粋）：
圧電体層と内部電極層とが交互に積層されてなる積層体と、前記内部電極層を用いて電圧を印加した際の前記積層体の変位方向と交わる、前記積層体の上端面および下端面を除いて前記積層体を覆うよう、前記積層体に接した状態で設けられた第1の被膜と、この第1の被膜の外側に前記積層体の全ての面を覆うよう設けられた第2の被膜とを具備し、前記第2の被膜における、少なくとも前記積層体の上端面および下端面に対応した部分の厚さが、50μm以下であることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (3件)：
H01L 41/083
, B81C 1/00
, H01L 41/22
B81C 1/00
, H01L 41/08 S
, H01L 41/22 Z
