能動除振装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-154148
公開番号（公開出願番号）：特開平8-326834
出願日： 1995年05月30日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：

【要約】【目的】能動除振装置において、除振性能を損なうことなく制振性能を向上させることが可能であり、かつ、従来に比較して非常に単純な構成の補償器を用いて、床などの装置設置基礎からの振動伝達特性を大きく改善する。【構成】除振台1と、除振台を防振支持する支持機構2と、除振台に制御力を加える電磁アクチュエータ3と、除振台の振動を検出する第1の振動検出手段4と、第1の振動検出手段の検出出力を除振台の振動を抑制すべく所定の補償を施す第1の補償手段5を介して電磁アクチュエータにフィードバックする制御ループと、支持機構を支える基礎6の振動を検出する第2の振動検出手段7と、第2の振動検出手段の検出出力を、基礎から除振台への振動伝達を抑制すべく第2の補償手段8によって補償して電磁アクチュエータにフィードフォワードする制御ループとを備える。

請求項（抜粋）：

除振台と、前記除振台を防振支持する支持機構と、前記除振台に制御力を加える電磁アクチュエータと、前記除振台の振動を検出する第1の振動検出手段と、前記第1の振動検出手段の検出出力を、前記除振台の振動を抑制すべく所定の補償を施す第1の補償手段を介して前記電磁アクチュエータにフィードバックする制御ループと、前記支持機構を支える基礎の振動を検出する第2の振動検出手段と、前記第2の振動検出手段の検出出力を、前記基礎から前記除振台への振動伝達を抑制すべく第2の補償手段によって補償して前記電磁アクチュエータにフィードフォワードする制御ループとを備えることを特徴とする能動除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 , G05D 19/02 , H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/02 A , G05D 19/02 D , H01L 21/30 503 F

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平4-019438
防振装置及びその制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-147467 出願人：住友電気工業株式会社

審査官引用 (5件)

特開平4-019438
特開平4-019438
特開平4-019438

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