特許
J-GLOBAL ID：200903095909022300
ガラスマスク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-275636
公開番号（公開出願番号）：特開平6-130652
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 パターン欠損の発生を回避することのできるガラスマスクを提供する。【構成】 ガラス基板10上の回路パターン18の周辺に、部分的に、静電気によって生じる放電を誘導するため擬似パターン16を具えている。また、回路パタンを櫛歯パターンとする場合、擬似パターンは、回路パターンの櫛歯の配列方向と平行に置いて、櫛歯状のパターンの両側に1つまたは2つ以上設ける。また、回路パターンを単一または複数の多角形パターン18a〜18cで形成している場合、擬似パターンは単一または複数の多角形パターンを取り囲む周辺に少なくとも1つ以上、互いに離間して設けてある。
請求項（抜粋）：
ガラス基板と、該ガラス基板上に遮光膜で形成され、回路形成のために用いられる回路パターンとを具える密着露光用のガラスマスクにおいて、前記ガラス基板上であって、前記回路パターンの周囲に、部分的に、静電気の放電を誘導するための擬似パターンを具えることを特徴とするガラスマスク。
IPC (2件)：
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