変位素子、及びこれを用いたカンチレバー型プローブ、及びこれを用いた情報処理装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：豊田善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-115248
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074753
出願日： 1993年04月20日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】反りが無く、固有振動数の高い2軸駆動が可能な変位素子及びカンチレバー型プローブを提供する。【構成】 Si基板11上に一定量のギャップを保持して多結晶Siからなる片持ち梁12と静電駆動用電極13を配置し、片持ち梁12には不純物拡散により静電駆動用電極14が2分割の状態で形成されている変位素子。【効果】片持ち梁12が単層であるため、内部応力による反りが発生せず、また、ヤング率の高いSiで形成されているため、固有振動数が高い。また、この変位素子上にマイクロティップ15を設けたカンチレバー型プローブはマイクロティップに寄生容量が誘起されないため信頼性の高い素子となり、これを用いた情報処理装置では高密度・大容量の記録再生が実現できる。

請求項（抜粋）：

電極を有する基板と、該基板上に設けられたカンチレバーを備えた変位素子において、該カンチレバーが半導体材料からなり、且つ半導体材料への不純物拡散により形成された少なくとも2つの静電駆動用電極を有することを特徴とする変位素子。

IPC (5件)：

G01B 21/30 , G11B 9/00 , H01J 37/28 , H01L 29/84 , H01L 41/09

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-038904
特開平4-128603
特開平4-098102

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