特許
J-GLOBAL ID：200903095909806662
ディスク基板表面欠陥検査方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-032058
公開番号（公開出願番号）：特開2000-230908
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：
【要約】【課題】 欠陥検出精度に優れ、かつ、自動化及び高速化に適した検査方法及び装置を提供すること。【解決手段】 一定方向に移動するディスク7表面の圧延スジ方法を第1の光ビームを用いて予め認識しておき、ディスク7表面の欠陥検査用の第2の光ビームを照射する場合に、その照射方向と前記圧延スジ方向とのなす角が所定範囲内となるように第2の光ビーム照射手段10の照射を制御する。
請求項（抜粋）：
ディスク基板を一定方向に移動させる移動手段と、ディスク基板表面に第1の光ビームを照射する第1の光ビーム照射手段と、ディスク基板表面からの前記第1の光ビームの反射光を受光する第1の受光手段と、前記第1の受光手段の出力によってディスク基板の圧延方向を認識する圧延方向認識手段と、前記圧延方向とのなす角が所定範囲内となるディスク基板表面に投影した場合の照射方向で第2の光ビームをディスク基板表面に照射する第2の光ビーム照射手段と、ディスク基板表面からの前記第2の光ビームの反射光を受光する第2の受光手段と、前記第2の受光手段からの信号を処理する画像処理手段を含む、ディスク基板表面欠陥検査装置。
Fターム (12件)：
2G051AA71
, 2G051AB07
, 2G051AC04
, 2G051BA01
, 2G051BB01
, 2G051CA03
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CD04
, 2G051DA06
, 2G051EA12
, 2G051EA16
