2軸平行・1軸旋回運動案内機構およびこれを用いた2軸平行・1軸旋回テーブル装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：世良和信 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-062230
公開番号（公開出願番号）：特開平11-245128
出願日： 1998年02月26日
公開日（公表日）： 1999年09月14日
要約：

【要約】【課題】テーブルへの組み付けが簡単でかつ高精度に案内支持できる2軸平行・1軸旋回運動案内機構およびこれを用いたテーブル装置を提供する。【解決手段】基台34に対してテーブル33を同一姿勢で互いに交差する2軸方向に相対的に平行運動可能に支持するための2軸平行運動案内部70と、2軸平行運動案内部70に基台34とは反対側で装着されてテーブル33を回転可能に支持する回転支持部80とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

第1部材に対して第2部材を同一姿勢で互いに交差する2軸方向に相対的に平行運動可能に支持するための2軸平行運動案内部と、該2軸平行運動案内部に前記第1部材とは反対側で装着されて前記第2部材を回転可能に支持する回転支持部とを有することを特徴とする2軸平行・1軸旋回運動案内機構。

IPC (5件)：

B23Q 1/48 , G01B 5/00 , G01B 21/00 , G12B 5/00 , H01L 21/68

FI (5件)：

B23Q 1/02 T , G01B 5/00 L , G01B 21/00 L , G12B 5/00 , H01L 21/68 K

引用特許：

審査官引用 (1件)

移動テーブル装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-204456 出願人：有限会社坂井技研

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