特許
J-GLOBAL ID：200903095910387991
自由曲面研磨装置および研磨工具の設計方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-032496
公開番号（公開出願番号）：特開2000-233358
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：
【要約】【課題】自由曲面を持つ被加工物を高精度研磨加工を行うことができる研磨装置を提供する。【解決手段】被加工物を搭載するための載置台11と、研磨工具12と、研磨工具12を被加工物1に所定の圧力で押しつけて回転させるための駆動機構とを有する。研磨工具12は、ベースと、ベースの先端面を被う弾性部材と、弾性部材の表面を被う研磨部材とを備える。ベースの径Rは、被加工物に存在する加工誤差に含まれるうねりの周期の2倍以上であり、ベースの先端面は、球面であり、当該球面の曲率半径は、被加工物1を加工すべき所望の曲面の曲率半径を平均した曲率半径に等しい。
請求項（抜粋）：
被加工物を搭載するための載置台と、研磨工具と、前記研磨工具を前記被加工物に所定の圧力で押しつけて回転させるための駆動機構とを有し、前記研磨工具は、ベースと、前記ベースの先端面を被う弾性部材と、前記弾性部材の表面を被う研磨部材とを備え、前記ベースの径は、前記被加工物に存在する加工誤差に含まれるうねりの周期の2倍以上であり、前記ベースの先端面は、球面であり、当該球面の曲率半径は、前記被加工物を加工すべき所望の曲面の曲率半径を平均した曲率半径に等しいことを特徴とする自由曲面研磨装置。
Fターム (5件)：
3C058AA01
, 3C058AA09
, 3C058CA01
, 3C058CB01
, 3C058CB10
