特許
J-GLOBAL ID：200903095912233878
試料ステージコントローラ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-139193
公開番号（公開出願番号）：特開平5-334980
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 ジョイスティックによる試料ステージの制御において高速による移動と低速による移動とを可能とし、低速移動によって分析点の微小な位置決めを可能とする試料ステージコントローラを提供する。【構成】 試料ステージコントローラにおいて、試料ステージ4の移動を制御する制御量を入力する入力手段1と、入力手段1の入力量と前記試料ステージ4の駆動量との関係を定める設定手段2とからなり、前記関係を非直線的関係とするとともに、該関係を設定可能とすることができるものである。
請求項（抜粋）：
試料ステージコントローラにおいて、(a)前記試料ステージの移動を制御する制御量を入力する入力手段と、(b)前記入力手段の制御量と前記試料ステージの駆動量との関係を定める設定手段とからなり、(c)前記関係を非直線的関係とするとともに該関係は設定可能であることを特徴とする試料ステージコントローラ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
