特許

J-GLOBAL ID：200903095912906066

反射型液晶表示素子および画像表示装置、情報携帯端末装置

発明者： 相馬 功児
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-164480
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357848
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】 反射型や半透過型の液晶表示装置用薄膜トランジスタのアレイ基板を作成するには、透過型の薄膜トランジスタアレイ基板の製造工程に反射電極や反射光散乱用の凹凸層を形成する工程を追加する必要があり、コスト面で大きな課題となる。【解決手段】 Aトランジスタ部の13b半導体膜コンタクト層と17aソース電極膜および17bドレイン電極とを接触するためのコンタクトホール形成と同時に、B画素電極部にもホールを形成することで16b散乱用凹凸膜を形成する。またこのとき16b散乱用凹凸膜のホール形成用エッチングストッパーとして13b半導体膜コンタクト層を用いることで良好な選択比を得ることができる。

請求項（抜粋）：

反射型画素電極部の反射光散乱用凹凸形状を形成する下地層がゲート電極とソース電極との間の層間絶縁膜であることを特徴とする反射型液晶表示素子。

IPC (8件)：

G02F 1/1368 ,  G02B 5/02 ,  G02B 5/08 ,  G02F 1/1335 520 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/35 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786

FI (10件)：

G02F 1/1368 ,  G02B 5/02 C ,  G02B 5/08 B ,  G02B 5/08 C ,  G02F 1/1335 520 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/35 ,  H01L 29/78 612 D ,  H01L 29/78 616 T ,  H01L 29/78 616 K

Fターム (73件)：

2H042BA04 ,  2H042BA15 ,  2H042BA20 ,  2H042DA02 ,  2H042DA06 ,  2H042DA12 ,  2H042DB08 ,  2H042DC08 ,  2H042DD10 ,  2H042DE04 ,  2H091FA14Z ,  2H091GA13 ,  2H091LA30 ,  2H092GA29 ,  2H092JA25 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JA46 ,  2H092JB61 ,  2H092KA04 ,  2H092KA05 ,  2H092KB25 ,  2H092MA27 ,  2H092NA25 ,  2H092PA01 ,  2H092PA12 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA48 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094DA15 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA06 ,  5C094ED11 ,  5C094ED13 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC02 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE50 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ30 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HM02 ,  5F110HM04 ,  5F110NN02 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ08 ,  5F110QQ11