特許

J-GLOBAL ID：200903095914394402

ウエハ加熱装置

発明者： 内山 京治 ,  田中 智 ,  竹之内 浩 ,  長崎 浩一
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-130854
公開番号（公開出願番号）：特開2001-313243
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】セラミックスからなる均熱板の一方の主面をウエハの載置面とし、他方の主面もしくは内部に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を前記他方の主面に具備してなるウエハ加熱装置において、ウエハを載せ替えた際の過渡時のウエハ面の温度分布を均一にする。【解決手段】前記載置面にウエハを支える複数の支持ピンを備え、該支持ピンの載置面からの突出高さを0.05〜0.5mmとし、且つそのバラツキを15μm以内とする。

請求項（抜粋）：

セラミックスからなる均熱板の一方の主面をウエハの載置面とし、他方の主面もしくは内部に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を前記他方の主面に具備してなるウエハ加熱装置において、前記載置面にウエハを支える複数の支持ピンを備え、該支持ピンの載置面からの突出高さが0.05〜0.5mmであり、且つそのバラツキが15μm以内であることを特徴とするウエハ加熱装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/30 567

Fターム (18件)：

5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA08 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031JA01 ,  5F031JA46 ,  5F031MA26 ,  5F031MA28 ,  5F031MA30 ,  5F031PA18 ,  5F045BB08 ,  5F045CB10 ,  5F045EK09 ,  5F045EK21 ,  5F045EM02 ,  5F045EM09 ,  5F046KA04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 温度調整装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-292835   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 特開平3-069111
  
• 特開平3-069111
  
• 特開平4-098784