特許

J-GLOBAL ID：200903095933884615

ウエハキヤリヤ劣化検出方法とその装置

発明者： 高尾 浩昭
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-265676
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109857
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】 本発明は,塵が歩留りに悪影響を及ぼすウエハキャリアの劣化検出方法とその装置に関し,ウエハキャリアの良否判定を数値的に,又,確実に行うことを目的とする。【構成】 ウエハキャリヤ1の劣化判定方法であって, クリーンエア11の雰囲気内において, 複数枚のウエハ2をウエハキャリア1に装填し, ウエハキャリア1の底部よりウエハ回転器3により該ウエハ2を一定時間回転し, 該ウエハキャリア1の内壁に設けられた該ウエハ2保持用の溝と該ウエハ2の外縁との摩擦によって発生した塵埃の量を塵埃測定器にて測定し, 予め設定した塵埃量の限界値を越えた場合には不良と判定するように構成する。

請求項（抜粋）：

ウエハキャリヤ(1) の劣化判定方法であって,クリーンエア(11)の雰囲気内において, 複数枚のウエハ(2) を該ウエハキャリア(1) に装填し, 該ウエハキャリア(1) の底部よりウエハ回転器(3) により該ウエハ(2) を一定時間回転し, 該ウエハキャリア(1) の内壁に設けられた該ウエハ(2) 保持用の溝と該ウエハ(2) の外縁との摩擦によって発生した塵埃の量を塵埃測定器にて測定し, 予め設定した塵埃量の限界値を越えた場合には不良と判定することを特徴とするウエハキャリア劣化検出方法。