特許
J-GLOBAL ID：200903095936437601
塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-136125
公開番号（公開出願番号）：特開平5-305261
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：
【要約】【目的】 回転カップ式塗布装置の回収通路内に塗布液が付着固化しないようにする。【構成】 アウターカップ23は上半体23aと下半体23bとからなり、これら上半体23aと下半体23bとの間に環状のドレイン回収通路26を形成し、インナーカップ22から径方向外方に突出せしめたドレインパイプ27がドレイン回収通路26の幅狭部26aを貫通してドレイン回収通路26内に臨んでいる。更に、アウターカップ23の上方には溶剤供給用の配管28を環状に巡らし、この配管28から下方に複数本の溶剤供給パイプ29を分岐し、この溶剤供給パイプ29をアウターカップ23に挿入し前記幅狭部26aの天井部に開口せしめている。
請求項（抜粋）：
スピンナーによって回転せしめられるインナーカップの外側にアウターカップを配置し、このアウターカップ内にインナーカップから突出するドレイン孔が臨む環状の回収通路を形成した塗布装置において、前記アウターカップには前記回収通路に開口する溶剤供給パイプを挿入したことを特徴とする塗布装置。
引用特許：
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