特許
J-GLOBAL ID：200903095946281863
薄膜スライド接続機構及びその製造方法並びにこれを用いたミラーデバイス及び光スイッチ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-222069
公開番号（公開出願番号）：特開2003-035874
出願日： 2001年07月23日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：
【要約】【課題】 優れた光学特性を保ちながら、小型化及び量産性をより一層向上させる。【解決手段】 ミラーデバイスは、ミラー2と、ミラー2を基板1に対して基板1から浮いた状態にかつ任意の方向に傾動可能に弾性支持する支持機構とを備える。支持機構は、基板1とミラー2との間を機械的に接続する3つの支持部3A〜3Cを有する。各支持部3A〜3Cは、1層以上の薄膜で構成された1つ以上の板ばね部5を有する。板ばね部5の一端部は、脚部9を介して基板1に接続される。板ばね部5の他端部は、薄膜スライド接続機構により、ミラー2に機械的に接続される。前記接続機構は、ミラー2に形成された長穴2cと、長穴2cに遊びを持って挿通され板ばね部5の他端部に固定された挿通部10と、を有している。
請求項（抜粋）：
基体と、1層以上の薄膜で構成されたミラーと、該ミラーを前記基体に対して前記基体から浮いた状態にかつ任意の方向に傾動可能に弾性支持する支持機構とを備え、供給される駆動信号に応じた方向及び傾き量で前記ミラーが前記基体に対して傾くミラーデバイスであって、前記支持機構は、前記基体と前記ミラーとの間を機械的に接続する1つ以上の支持部を有し、前記各支持部は、1層以上の薄膜で構成された1つ以上の板ばね部を有し、前記1つ以上の支持部のうちの少なくとも1つの支持部において、前記1つ以上の板ばね部がなす機械的な接続ルートの一端部に相当する板ばね部の一端部は、当該一端部と前記ミラーとを相対的にスライド自在に機械的に接続する薄膜スライド接続機構により、前記ミラーに機械的に接続され、前記薄膜スライド機構は、前記ミラーと前記接続ルートの前記一端部に相当する前記板ばね部とのうちの、一方に形成された長穴と、該長穴に遊びを持って挿通されて、前記ミラーと前記接続ルートの前記一端部に相当する前記板ばね部とのうちの、他方に固定された挿通部と、を有し、前記挿通部の前記長穴からの抜けが防止されるように構成されたことを特徴とするミラーデバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AC04
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
