特許

J-GLOBAL ID：200903095947510424

絶対変位測定装置

発明者： 西沖 暢久
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058253
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258188
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 単純な演算に従って波長合成を行って長周期信号を得て、正確な絶対変位測定を行うことを可能とした絶対変位測定装置を提供する。【解決手段】 検出対象の変位Lに対応して周期P1の2相正弦波状信号S1A,S1Bを出力する変位検出器1と、これと併設されて検出対象の変位Lに対応して周期P1と異なる周期P2の2相正弦波状信号S2A,S2Bを出力する変位検出器2と、これらの変位検出器1,2の出力正弦波状信号S1A,S2A及び余弦波信号S1B,S2Bを合成して、周期P1とP2の最小公倍数値の周期Pxを持つ2相正弦波状信号SxA=S1A×S2B-S1B×S2A及びSxB=S1B×S2B+S1A×S2Aを得る波長合成手段3とを備える。変位検出器1,2のいずれか一方の出力を微分解能信号とし、波長合成手段3の出力信号を粗分解能信号としてそれぞれの位相を検出し、その位相情報に基づいて変位Lを周期Px内の絶対位置として演算する。

請求項（抜粋）：

検出対象の変位Lに対応して周期P1の正弦波状信号S1A及び余弦波状信号S1Bを出力する第1の変位検出器と、この第1の変位検出器と併設されて、前記検出対象の変位Lに対応して前記周期P1と異なる周期P2の正弦波状信号S2A及び余弦波状信号S2Bを出力する第2の変位検出器と、これら第1及び第2の変位検出器から得られる正弦波状信号S1A,S2A及び余弦波信号S1B,S2Bを合成して、周期P1とP2の最小公倍数値の周期Pxを持つ正弦波状信号SxA=S1A×S2B-S1B×S2A及び余弦波状信号SxB=S1B×S2B+S1A×S2Aを得る波長合成手段と、前記第1及び第2の変位検出器のいずれか一方の出力信号を微分解能信号とし、前記波長合成手段の出力信号を粗分解能信号としてそれぞれの位相を検出する位相検出手段と、この位相検出手段により検出された位相情報に基づいて前記変位Lを前記周期Px内の絶対位置として演算出力する距離演算手段とを備えたことを特徴とする絶対変位測定装置。

IPC (4件)：

G01D 5/245 102 ,  G01B 21/00 ,  G01D 5/249 ,  G01D 5/36

FI (4件)：

G01D 5/245 102 B ,  G01B 21/00 C ,  G01D 5/249 M ,  G01D 5/36 B

Fターム (29件)：

2F069AA02 ,  2F069DD20 ,  2F069GG07 ,  2F069GG45 ,  2F069HH12 ,  2F069HH14 ,  2F069NN21 ,  2F077AA29 ,  2F077NN05 ,  2F077QQ07 ,  2F077QQ10 ,  2F077QQ15 ,  2F077RR23 ,  2F077RR29 ,  2F077TT44 ,  2F077TT81 ,  2F103BA42 ,  2F103CA01 ,  2F103CA08 ,  2F103DA06 ,  2F103DA12 ,  2F103EA04 ,  2F103EA15 ,  2F103EB02 ,  2F103EB03 ,  2F103EB05 ,  2F103EB08 ,  2F103EC13 ,  2F103FA07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-058212
  
• 特開平3-053113
  
• 信号処理方法及びそれを用いた検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-197981   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭60-059824