特許
J-GLOBAL ID：200903095953746375
集積回路チツプ位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-161609
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013552
出願日： 1991年07月02日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【目的】 高精度であって汎用性の高いICチップの位置決めを実施する。【構成】 第1,第2撮像位置決定部15,16は、ICチップの異なるチップ角近傍がCCDカメラ1の撮像領域に入るようにするためのステージ制御信号を出力する。第1,第2画像処理部13,14は、ICチップの画像に基づいてマスクパターンの外辺から得られる2つの直線の交点から成る基準点の座標を求める。位置決め部10は、2つの基準点の座標からICチップの座標上の位置と座標軸に対する角度を求めてICチップを正しい位置に移動するためのステージ制御信号を出力する。ステージ駆動部9は、第1,第2撮像位置決定部15,16あるいは位置決め部10からのステージ制御信号に基づいてθステージ4あるいはXYステージ5を駆動する。こうして、2直線の交点を求めるというICチップに因らない簡単で高精度な処理によって汎用性の高い位置決めを行う。
請求項（抜粋）：
移動可能なステージ上に搭載された集積回路チップの表面を撮像手段によって撮像し、この撮像された集積回路チップの表面画像に基づいて集積回路チップの標準位置に対する位置および標準線に対する角度を検出し、この検出された位置および角度に基づいて上記集積回路チップの位置決めを行う集積回路チップ位置決め装置において、上記撮像手段による撮像領域内に上記集積回路チップの角を含む撮像位置が入るようにするための上記ステージの移動量を求め、このステージ移動量を表すステージ制御信号を出力する撮像位置決定手段と、上記撮像手段によって撮像された当該集積回路チップの角を含む画像の画像情報を取り込んで、この取り込んだ画像情報に基づいて当該集積回路チップのマスクパターンの2つの外辺から得られる2つの直線の交点で成る基準点の標準位置に対する位置を求め、上記基準点の位置を表す位置信号を出力する位置検出手段と、上記位置検出手段から出力された位置信号に基づく上記基準点の位置を用いて当該集積回路チップの標準位置に対する位置および標準線に対する角度を求め、この求められた位置および角度に基づいて当該集積回路チップを所定の位置へ移動させるための上記ステージの移動量を求め、このステージ移動量を表すステージ制御信号を出力する位置決め手段と、上記撮像位置決定手段からのステージ制御信号あるいは上記位置決め手段からのステージ制御信号に基づいて、上記ステージを上記ステージ移動量だけ移動させるステージ駆動手段を備えたことを特徴とする集積回路チップ位置決め装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G06F 15/62 405
, H01L 21/60 301
