特許

J-GLOBAL ID：200903095961499166

膜厚測定装置

発明者： 吉沢 朋也 ,  大槻 久仁夫
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-067320
公開番号（公開出願番号）：特開2002-267418
出願日： 2001年03月09日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：

【要約】【課題】 入射ビーム径をことさら絞り込まなくても、試料表面における測定領域を必要に応じて限定することのできる膜厚測定装置を提供すること。【解決手段】 試料の表面に偏光光を照射する入射光学系と、試料表面で反射した楕円偏光の偏光変化量に基づいて試料表面に関するデータを出力する検出光学系とを備えた膜厚測定装置において、前記検出光学系における検光子と分光器との間に受光取込みエリアを制限するためのピンホール部を設けた。

請求項（抜粋）：

試料の表面に偏光光を照射する入射光学系と、試料表面で反射した楕円偏光の偏光変化量に基づいて試料表面に関するデータを出力する検出光学系とを備えた膜厚測定装置において、前記検出光学系における検光子と分光器との間に受光取込みエリアを制限するためのピンホール部を設けたことを特徴とする膜厚測定装置。

Fターム (20件)：

2F065AA30 ,  2F065BB03 ,  2F065CC20 ,  2F065CC25 ,  2F065DD03 ,  2F065FF42 ,  2F065FF46 ,  2F065GG03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL19 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL67 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ28 ,  2F065SS13

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 多数角度分光分析器
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-504543   出願人：サーマ-ウェイブ・インク