固体撮像装置およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新居広守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-049172
公開番号（公開出願番号）：特開2007-134664
出願日： 2006年02月24日
公開日（公表日）： 2007年05月31日
要約：

【課題】有効画素領域とオプティカルブラック領域とで光学的黒レベルに差の無い固体撮像装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明における固体撮像装置は、半導体基板上に2次元的に配置された、光情報を検出する有効画素領域6、または、光学的黒レベルを規定するオプティカルブラック領域7に属する複数の光電変換部4と、複数の光電変換部4の上方に形成される遮光膜8とを備え、遮光膜8は、有効画素領域6の光電変換部4の上方を含む領域に形成される第一の開口と、オプティカルブラック領域7の上方に形成される第二の開口27とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体基板上に2次元的に配置された、光情報を検出する有効画素領域、または、光学的黒レベルを規定するオプティカルブラック領域に属する複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部の上方に形成される第一の遮光膜とを備え、前記第一の遮光膜は、前記有効画素領域の前記光電変換部の上方を含む領域に形成される第一の開口と、前記オプティカルブラック領域の上方に形成される第二の開口とを備えることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/14 , H04N 5/335

FI (2件)：

H01L27/14 D , H04N5/335 S

Fターム (25件)：

4M118BA13 , 4M118CA04 , 4M118CA32 , 4M118CA34 , 4M118EA01 , 4M118EA06 , 4M118EA14 , 4M118FA06 , 4M118FA26 , 4M118FA35 , 4M118GB03 , 4M118GB08 , 4M118GB09 , 4M118GB11 , 4M118GC07 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 5C024CX32 , 5C024DX01 , 5C024EX43 , 5C024GX14 , 5C024GX17 , 5C024GY01 , 5C024GZ34 , 5C024GZ36

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平3-169078号公報

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