特許
J-GLOBAL ID：200903095973684872
偏光干渉計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-025560
公開番号（公開出願番号）：特開平5-066155
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】 偏光干渉計におけるソレイユ補正板の二つの共線的光線の光路差を、できるだけ直接に、高い装置コストを要することなく、しかも高光度を保って測定できるようにする。【構成】 第2の偏光子7と干渉図形の評価のために設けられた検光子9との後方の光路に、光線分割器が配置される。好ましくは、第2の偏光子7が、偏光光線分割器として構成される。さらに光路長の変化を測定するためのフィルタ、好ましくは狭帯域干渉フィルタ10が、検光子12とともに設けられる。
請求項（抜粋）：
特に平行な白色の光線を形成するためのコリメータを備え、この平行な光線を偏光させる第1の偏光要素(2、25)を備え、少なくとも二つの平行な側面を有するとともにこれらの側面が偏光された平行光線に対し垂直に構成された複屈折エレメント(4、5、6)を備え、複屈折エレメント(4、5、6)から出る光を偏光させて検光子(9)へ導く第2の偏光要素(7)を備え、前記複屈折エレメント(4、5、6)が、対向する側面に沿って互いに移動できるように配置されるとともに補足し合って直方体を構成する二つの光学的くさび(4、5)と、補正板としても用いられる複屈折平行板(6)とで構成され、補正板(6)の光学軸が、両くさび(5、6)の光学軸に対し、光線に垂直な面内において有限の角度だけ捩じれており、両くさび(5、6)の光学軸が一致しており、偏光要素(2、7)の光学軸が、互いに垂直または平行に構成されるとともに複屈折エレメント(4、5、6)の両くさび(4、5)の軸に対し平行でないように構成された偏光干渉計であって、第2の偏光子(7)と干渉図形の評価のために設けられた検光子(9)との後方の光路に光線分割器が配置されており、しかも好ましくは第2の偏光要素(7)が偏光光線分割器として構成されており、さらに光路長の変化を測定するためのフィルタ、好ましくは狭帯域干渉フィルタ(10)が検出器(12)とともに設けられていることを特徴とする偏光干渉計。
IPC (3件)：
G01J 3/45
, G01N 21/21
, G01N 21/45
