特許

J-GLOBAL ID：200903095979937390

露光装置

発明者： 入江 直樹
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-046530
公開番号（公開出願番号）：特開2004-259786
出願日： 2003年02月24日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：

【課題】露光光の吸収による被処理体への露光光量の低下及び光学素子の汚染を防止し、スループット及び光学性能に優れた露光装置を提供する。【解決手段】被処理体を走査しつつ、前記被処理体に露光する走査型の露光装置であって、前記被処理体の周辺空間を囲う包囲部材と、前記走査方向に対して実質的に平行な2方向から、前記周辺空間にガスを供給するガス供給手段とを有することを特徴とする露光装置を提供する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被処理体を走査しつつ、前記被処理体に露光する走査型の露光装置であって、 前記被処理体の周辺空間を囲う包囲部材と、 前記走査方向に対して実質的に平行な2方向から、前記周辺空間にガスを供給するガス供給手段とを有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (3件)：

H01L21/30 516F ,  G03F7/20 502 ,  G03F7/20 521

Fターム (7件)：

2H097AA03 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  5F046BA05 ,  5F046CA07 ,  5F046DA07 ,  5F046DA27