特許

J-GLOBAL ID：200903095980444690

固体撮像装置及びその製造方法

発明者： 小林 美千代 ,  下村 幸司
出願人/特許権者： 松下電子工業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-088930
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288482
出願日： 1995年04月14日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 チップサイズの小型化および多画素化に対しても、画像不良のなく、かつ高感度な固体撮像装置を提供する。【構成】 ある受光部2とその隣の受光部2とに挟まれた電荷転送部4の表面に遮光部3が形成されており、また受光部2と遮光部3との上面には第1の透明平坦膜5が形成されている。また第1の透明平坦膜5の上面には所望の分光特性を有するカラーフィルター6が各受光部2に対峙するように形成されている。カラーフィルター6の上面には第2の透明平坦膜5が形成され、カラーフィルター6上面を平坦化している。次に第2の透明平坦膜5の上面には第1のマイクロレンズ14と第2のマイクロレンズ15とから構成された多層マイクロレンズ16が形成されている。多層マイクロレンズ16は各受光部2と対峙するように位置しており、入射光を受光部2に集める構成としている。

請求項（抜粋）：

受光部と遮光部と電荷転送部を形成した半導体基板の表面に第1の透明平坦膜を形成し、第1の透明平坦膜上にカラーフィルターを形成し、前記カラーフィルター上に第2の透明平坦膜を形成し、第2の透明平坦膜上に第1のマイクロレンズと第2のマイクロレンズよりなる多層マイクロレンズを形成した固体撮像装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-233759
  
• 特開平4-226073
  
• 特開平4-245677