クライオポンプの再生装置およびクライオポンプの再生方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-308531
公開番号（公開出願番号）：特開平11-141460
出願日： 1997年11月11日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：

【要約】【課題】ヒータを用いることなく安全にクライオポンプを再生する。【解決手段】温度センサ36,37は第1,第2クライオパネル15,16の温度を検出する。周波数制御手段38は、再生処理時には、2段膨張式冷凍機12のバルブモータ23の回転周波数を20Hz〜35Hzに制御して、第2クライオパネル16の温度を25K〜35Kに保って水素を選択的に放出させる。こうして、ヒータ等の発火源を無くして爆発の危険を防止する。また、水素を酸素とを分離して放出排気し、水素ガスと酸素ガスとが混合されて爆発することを防止する。

請求項（抜粋）：

膨張式冷凍機(12)と、この膨張式冷凍機(12)によって冷却される水素吸着用クライオパネル(16)を有するクライオポンプ(11)の再生装置であって、上記水素吸着用クライオパネル(16)に取り付けられると共に、上記水素吸着用クライオパネル(16)の温度を検出して、検出信号を出力する温度センサ(37)と、上記膨張式冷凍機(12)に設けられて、冷媒ガスの給入排出を切り換えるバルブディスク(22)と、上記バルブディスク(22)を回転駆動するバルブモータ(23)と、上記バルブモータ(23)の回転周波数を設定する周波数設定手段(35)と、上記温度センサ(37)からの検出信号を受けて、再生処理時には、上記水素吸着用クライオパネル(16)の温度が所定の温度領域に入るように上記周波数設定手段(35)を制御する周波数制御手段(38)を備えたことを特徴とするクライオポンプの再生装置。

IPC (2件)：

F04B 37/08 , F04B 49/00 361

FI (2件)：

F04B 37/08 , F04B 49/00 361

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