内周刃カッタ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-146230
公開番号（公開出願番号）：特開平7-001341
出願日： 1993年06月17日
公開日（公表日）： 1995年01月06日
要約：

【要約】【目的】傷や割れのない良品質のウエーハの安定した切り出しができる内周刃カッタを提供する。【構成】内周刃カッタ10は、厚さ100〜200μm程度のステンレス鋼をドーナツ状に成形したカッタ本体11の内周縁に、厚さ50〜150μm程度のダイヤモンドからなる砥粒(切断砥粒)12が電鋳され、カッタ本体11のインゴット13側の側面には、次に切りだされるウエーハ14の表面を研削するために、切断砥粒12よりも目の細かいダイヤモンドからなる砥粒(研削砥粒)15が電鋳されて付着されている。

請求項（抜粋）：

ドーナツ状のカッター本体の内周縁に砥粒を付着させてなり、半導体等のインゴットからウエーハを切断するための内周刃カッタにおいて、前記カッタ本体のインゴット側の側面に前記カッタ本体の内周縁に付着する砥粒よりも目の細かい砥粒を付着させてなる内周刃カッタ。

IPC (5件)：

B24D 5/12 , B24D 7/18 , B28D 1/22 , B28D 5/02 , H01L 21/304 311

前のページに戻る