特許
J-GLOBAL ID：200903095987833013
微小流量測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-295793
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136304
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 測定時間を大幅に短縮できる微小流量測定装置を提供する。【構成】 密封容器13に収容した被測定物12を、電磁弁18を介して空気源20に接続し、密封容器13に、流量計15と、空気源に接続される電磁弁22及びストローク調整機構31を有する単動形の空気圧シリンダ23を備えた空気充填装置16を接続する。被測定物12からリークした空気の量は、流量計15によって測定される。【効果】 空気充填装置によって速やかに密封容器に空気が充填されるので、測定時間が大幅に短縮される。
請求項（抜粋）：
被測定物を収容する密封容器と、該密封容器から流出する流体の量を測定する流量計とを備え、上記密封容器に収容した被測定物に圧力流体を供給して、被測定物からリークする流体の量を流量計によって測定する微小流量測定装置において、上記密封容器に、該密封容器に所定量の流体を充填するための流体充填装置を接続した、ことを特徴とする微小流量測定装置。
IPC (3件)：
G01F 1/34
, G01F 1/00
, G01M 3/28
