特許

J-GLOBAL ID：200903095994987387

微小凹部付きガラス基板及びこのガラス基板を用いた平板型マイクロレンズアレイ

発明者： 松田 厚範 ,  森尾 健二 ,  岸本 隆 ,  浜中 賢二郎
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-193933
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043404
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】 潜傷を有するガラス基板に等方エッチングを施す際に、当該潜傷に起因して特定方向にエッチングが進んでしまう。【解決手段】 エッチング法にてガラス基板表面に微小凹部を形成するにあたり、前記ガラス基板として、表面の中心線平均粗さRaが0.4nm以下のものを選定することで、予定していない方向にエッチングが進むことを防止する。

請求項（抜粋）：

研磨法にて表面の中心線平均粗さRaを0.4nm以下としたガラス基板表面に、エッチング法によって形成された微小凹部が多数個1次元または2次元に規則配列された平板マイクロレンズ用ガラス基板であって、前記微小凹部は略ボウル状をなすとともに、底部の曲率半径は側部の曲率半径よりも大きく、また前記微小凹部を平面視したときの輪郭はほぼ円形であり、さらにその長径と短径の比が1.1以下であることを特徴とする微小凹部付きガラス基板。ただし、輪郭の最も長い径を長径と、最も短い径を短径とする。

IPC (4件)：

G02B 3/00 ,  G02F 1/1333 ,  G02F 1/1335 ,  B32B 17/10

FI (4件)：

G02B 3/00 A ,  G02F 1/1333 ,  G02F 1/1335 ,  B32B 17/10