特許
J-GLOBAL ID：200903095996791170

転写装置および転写方法

発明者：
田中 裕二

田中 裕二 について


出願人/特許権者：
旭化成株式会社

旭化成株式会社 について


代理人 (3件)： 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-141826
公開番号（公開出願番号）：特開2008-296390
出願日： 2007年05月29日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：
【課題】ナノインプリント加工の大面積化、高スループット化、高品質化を達成できる新規な転写装置および転写方法の提供。【解決手段】予め表面に樹脂が塗布された基材フィルムF1に、所定の微細パターンが形成された転写板31aを押し当ててその樹脂に当該微細パターンを転写する方法であって、前記転写板31aを筒状に加工してから弾性層31bを介して回転軸32に着脱自在に取り付けた後、ニップロール33で前記基材フィルムF1を前記回転軸32上の転写板31aの表面に押し付けるようにして連続して送り出しながら、その樹脂J上に所定の微細パターンを連続して転写する。これによって、基材フィルムF1上に所定の微細パターンを確実かつ連続して転写できるため、ナノインプリント加工の大面積化、高スループット化、高品質化を容易に達成できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
繰出しロールから繰り出される基材フィルムと接してその表面に所定の微細パターンを転写する転写ロールと、当該転写ロールによって所定の微細パターンが転写された基材フィルムを巻き取る巻取りロールとを有する転写装置であって、 前記転写ロールは、前記基材フィルムと接触する外周面に前記所定の微細パターンが形成されると共にその内周面に弾性層が形成された転写筒と、当該転写筒の内側に挿入されて当該転写筒を前記弾性層を介して着脱自在に挿着する回転軸と、当該回転軸に挿着された前記転写筒に接して前記基材フィルムをその外周面に押圧するニップロールとを有することを特徴とする転写装置。
IPC (2件)：
B29C 59/04 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
B29C59/04 C ,  H01L21/30 502D
Fターム (15件)：
4F209AA44 ,  4F209AD08 ,  4F209AG03 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ02 ,  4F209AJ08 ,  4F209PA04 ,  4F209PB02 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ01 ,  4F209PQ03 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (8件)
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