圧電薄膜素子及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-152870
公開番号（公開出願番号）：特開2003-347883
出願日： 2002年05月27日
公開日（公表日）： 2003年12月05日
要約：

【要約】【課題】周波数調整膜の寸法精度が良好で、製造ロット変動やウエハ基板内変動が少なく、安価で量産性に優れた周波数調整を実施できる圧電薄膜素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】圧電薄膜素子は、下部電極膜4と、圧電膜5と、複数の上部電極膜6a,6bなどで構成され、一方の上部電極膜6bの上には、酸化シリコン、酸化アルミニウム等の金属酸化物またはアクリル系樹脂等の合成樹脂からなる周波数調整膜11が所定の面積および膜厚で形成される。周波数調整膜11が付加された第2圧電共振部は共振周波数が僅かに低い方へシフトする。

請求項（抜粋）：

圧電薄膜および該圧電薄膜に電界を印加するための駆動電極を有する圧電共振部と、該駆動電極上に設けられた周波数調整膜とを備える圧電薄膜素子の製造方法であって、圧電共振部の表面に、エネルギー線の照射により硬化可能な硬化性材料からなる膜を形成する工程と、圧電共振部の駆動電極上に位置する硬化性材料膜の所定部分にエネルギー線を照射して硬化させ、周波数調整膜を形成する工程と、硬化性材料膜のうちエネルギー線の未照射部分を除去する工程とを含むことを特徴とする圧電薄膜素子の製造方法。

IPC (4件)：

H03H 9/17 , H03H 3/04 , H03H 9/02 , H03H 9/58

FI (4件)：

H03H 9/17 F , H03H 3/04 B , H03H 9/02 M , H03H 9/58 A

Fターム (10件)：

5J108AA02 , 5J108AA07 , 5J108CC01 , 5J108CC11 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108HH04 , 5J108HH06 , 5J108KK06 , 5J108NB05

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