特許
J-GLOBAL ID：200903096000234454
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-172375
公開番号（公開出願番号）：特開平10-019577
出願日： 1996年07月02日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】 構造が簡単であり、特性のばらつきの少ない高精度で小型かつ安価で量産できる角速度センサを提供すること。【解決手段】 振動子を薄膜振動板7と薄膜振動板7に取り付けられた錘部9とから形成し、薄膜振動板7は片持ち梁状に支持されている。薄膜振動板7をP型シリコン単結晶基板5,6に高濃度ホウ素を添加して形成し、錘部9を異方性エッチング技術により形成する。
請求項（抜粋）：
振動子と、該振動子を第1の方向に励振させる駆動手段と、前記振動子の回転運動によるコリオリ力によって前記第1の方向と直交する第2の方向に生じる振動を検出する検出手段とを備え、該検出手段の出力と前記駆動手段の出力とから前記回転運動における角速度を算出する角速度センサにおいて、前記振動子を薄膜振動板と該薄膜振動板に取り付けられた錘部とから形成し、該錘部の重心を前記薄膜振動板からずらして形成したことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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