金属製マイクロ部材の製造方法およびその使用

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-177398
公開番号（公開出願番号）：特開平11-080988
出願日： 1998年06月24日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】母型のマイクロ構造パターンの中で強く付着しているマイクロ部材を確実に離型するための方法を提供する。【解決手段】マイクロ部材を形成する前に、マイクロ構造パターン付近までのびるが、マイクロ構造パターンを解放したまま、マイクロ部材の突出部を下から係合する分離層を形成し、かつ引き続き該分離層の除去後に、表面上に施与されるポリマー支持体中に、表面上に突出部を有するマイクロ部材を埋め込み、かつポリマー支持体をマイクロ部材と一緒に母型から引き離す。【効果】高い離型力を必要とするマイクロ部材も問題なく離型することができる。

請求項（抜粋）：

形状付与表面(3)にマイクロ構造パターン(2)が作られている母型(1)の型取りにより金属製マイクロ部材(5)を製造する方法において、母型(1)上でマイクロ部材(5)を形成する前に、マイクロ構造パターン(2)を解放したまま、マイクロ構造パターン内で結合して形成されているマイクロ部材(5)の突出部(5a)の周囲を下から係合するようにマイクロ構造パターン(2)付近までのびる分離層(4)を形成し、かつその際に引き続き該分離層(4)の除去後に母型(1)のマイクロ構造パターン(2)内に形成され、かつ突出部(5a)を有し、表面(3)上に突出しているマイクロ部材(5)を、離型のために、表面(3)上に施与されるポリマー支持体(6)中に埋め込み、かつポリマー支持体(6)をマイクロ部材(5)と一緒に母型(1)から引き離すことを特徴とする、マイクロ部材の製造方法。

IPC (2件)：

C25D 1/00 381 , C25D 1/10

FI (2件)：

C25D 1/00 381 , C25D 1/10

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