特許

J-GLOBAL ID：200903096008895948

平面型インダクタおよび平面型トランス

発明者： 松崎 一夫 ,  林 善智 ,  菅原 聡
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-342540
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176639
出願日： 1997年12月12日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】コイル膜厚を厚くしてコイル部の損失、とりわけ直流損失を低減し、かつ製造の容易な平面型インダクタおよび平面型トランスを提供する。【解決手段】シリコンウェハ11上に絶縁膜13aを介して磁性薄膜14を堆積し、更に絶縁膜13bで覆った上に、中間絶縁膜16を積層し、その中間絶縁膜16に溝を形成し、コイル導体17を埋め込む。その平面コイルと面対称となるように他方の基板上に形成された平面コイルとをコイル面同士が電気的に接続されるように重ね合わされる。

請求項（抜粋）：

一方の基板上に形成された平面コイルと、その平面コイルと面対称となるように他方の基板上に形成された平面コイルとをコイル面同士が電気的に接続されるように重ね合わされた構造であることを特徴とする平面型インダクタ。

IPC (3件)：

H01F 17/00 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

FI (2件)：

H01F 17/00 B ,  H01L 27/04 L

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 平面型磁気素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-043008   出願人：株式会社東芝
• 積層型インダクタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-114495   出願人：株式会社村田製作所
• 平面型トランス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-325824   出願人：横河電機株式会社