特許
J-GLOBAL ID：200903096009305869

電子顕微鏡

発明者：
大門 寛

大門 寛 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-007387
公開番号（公開出願番号）：特開2003-208866
出願日： 2002年01月16日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：
【要約】【課題】 一つの装置で低倍率から高倍率まで観察する。【解決手段】 電子像を二次元的に検出する二次元電子検出手段3と、この二次元電子検出手段3の前方の試料側に設け、試料Sから得られる電子の電子像を形成するレンズ系2とを備える構成とし、レンズ系2は各レンズの強さを切り替えることによって回折像又は拡大した顕微鏡像の2種の電子像を形成し、二次元電子検出手段3はレンズ系2で形成された電子像を二次元的に検出する。
請求項（抜粋）：
電子像を二次元的に検出する二次元電子検出手段と、前記二次元電子検出手段の前方の試料側に設け、試料から得られる電子の電子像を形成するレンズ系とを備え、前記レンズ系は各レンズの強さを切り替えて回折像又は拡大された顕微鏡像の電子像を形成することを特徴とする、電子顕微鏡。
IPC (4件)：
H01J 37/252 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/10 ,  H01J 37/244
FI (4件)：
H01J 37/252 Z ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/10 ,  H01J 37/244
Fターム (16件)：
2G001AA01 ,  2G001AA07 ,  2G001AA09 ,  2G001BA09 ,  2G001BA18 ,  2G001DA09 ,  2G001DA10 ,  2G001EA04 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001HA12 ,  2G001KA12 ,  2G001KA20 ,  5C033NN01 ,  5C033RR08 ,  5C033RR09
引用特許：
審査官引用 (5件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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