特許
J-GLOBAL ID:200903096009973802

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-238600
公開番号(公開出願番号):特開平6-083054
出願日: 1992年09月07日
公開日(公表日): 1994年03月25日
要約:
【要約】【構成】 ピロメリット酸二無水物と3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物とを2-ヒドロキシ-1,3-ジメタクリロキシプロパンとメタノールでエステル化後、2,2-ビス〔4-(4-アミノフェノキシ)-フェニル〕プロパンと縮合してなるポリアミド酸エステルを主成分とする感光性樹脂組成物。【効果】 良好な感光特性を有し、硬化後の皮膜がSi等の基板及びエポキシ系封止材料との密着性に優れ、吸湿処理後にも劣化のない感光性ポリイミド樹脂を得ることができる。
請求項(抜粋):
式(1)で示されるポリアミド酸エステルを主成分とする感光性樹脂組成物。【化1】【化2】
IPC (5件):
G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 501 ,  C08G 73/10 NTF ,  G03F 7/027 514 ,  H01L 21/027
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開昭63-317553
  • 特開昭62-290726
  • 特開平3-170549
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