特許

J-GLOBAL ID：200903096016537635

基板収納ケースおよび露光装置

発明者： 青木 淳行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-196792
公開番号（公開出願番号）：特開2001-022053
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 内部に収納された基板を取り出すことなく確認する。【解決手段】 マークMを有する基板Rを収納する基板収納ケース8において、外部からの光を入射する入射部16と、入射部16に入射した光を外部へ出射可能な出射部16と、入射部16に入射した光をマークMを介して出射部16へ向けて反射する反射部17、18とを備える。

請求項（抜粋）：

マークを有する基板を収納する基板収納ケースにおいて、外部からの光を入射する入射部と、該入射部に入射した前記光を外部へ出射可能な出射部と、前記入射部に入射した前記光を前記マークを介して前記出射部へ向けて反射する反射部とを備えることを特徴とする基板収納ケース。

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G03F 1/14 M ,  H01L 21/68 T ,  H01L 21/30 503 E

Fターム (19件)：

2H095BA02 ,  2H095BD29 ,  2H095BE12 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA12 ,  5F031DA20 ,  5F031GA03 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031JA06 ,  5F031JA38 ,  5F031JA49 ,  5F031JA50 ,  5F031MA27 ,  5F046AA21 ,  5F046DB14 ,  5F046DC14 ,  5F046DD04