微細造作を有するデバイスの液体エンボス加工による製造

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷馨 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-523922
公開番号（公開出願番号）：特表2003-509228
出願日： 2000年09月13日
公開日（公表日）： 2003年03月11日
要約：

【要約】エラストマースタンプが、電気材料、生物材料、化学材料、及び機械材料の直接的なパターン形成を容易にする。材料の薄いフィルムが基体上に堆積される。堆積された材料は、当初から液体として存在し、或いは後に液化され、隆起したパターンを有するエラストマースタンプを用いて、低圧でエンボス加工することによってパターン形成される。パターン形成された液体は次いで硬化されて機能層を形成する。堆積、エンボス加工、及び硬化のステップは、同じ液体又は異なる液体について、また二次元又は三次元で多数回繰り返される。堆積される種々の層は、例えば、集積された電子部品を生成するよう相互作用する種々の電気的特性を有することができる。

請求項（抜粋）：

機能部品の製造方法であって、a.硬化可能な材料の薄いフィルムを液体状で準備するステップと、b.隆起したパターンを有するエラストマースタンプで前記硬化可能な材料を低圧でエンボス加工することにより、前記硬化可能な材料をパターン形成するステップと、c.前記パターン形成された材料を硬化するステップと、及びd.硬化した層が相互作用して機能部品を生成するように、硬化された場合に異なる機能特性を有する材料について前記ステップ(a)から(c)を複数回繰り返すステップからなる方法。

IPC (2件)：

B82B 3/00 , G03F 7/004 511

FI (2件)：

B82B 3/00 , G03F 7/004 511

Fターム (3件)：

2H025AB02 , 2H025AB16 , 2H025AD01

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