特許
J-GLOBAL ID：200903096023045381
不純物ドーピング法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-237916
公開番号（公開出願番号）：特開平6-084969
出願日： 1992年09月07日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】MBE法において、テルル化カドミウムへのn型不純物ドーピングを行う場合、従来技術よりも簡便でドーピング効率に優れた不純物ドーピング法を提供する。【構成】n型ドーパントとして、従来用いられていたインジウム単体に換え、インジウム化カドミウムを導入したクヌードセンセル4を用いる。
請求項（抜粋）：
MBE法によるテルル化カドミウムへのn型不純物ドーピング法であって、n型ドーパント源としてインジウム化カドミウムを導入したクヌードセンセルを用いることを特徴とする不純物ドーピング法。
IPC (3件)：
H01L 21/363
, C30B 23/08
, H01L 21/203
