特許
J-GLOBAL ID：200903096023769258
表面形状測定方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森下 靖侑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-089237
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264214
出願日： 1992年03月16日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【目的】 細い触針を用いることによって、小さな穴の内面などの微小部分の表面形状が測定されるようにする。【構成】 導電性の触針1は、ピエゾアクチュエータ2によってX軸方向に一定振幅で加振される。その触針1と測定対象物3との間には電圧が印加されており、それらの接触による電気的導通が導通時間検出回路7によって検出され、コンピュータ6においてその導通時間と触針1の振動周期との比率から触針1と測定対象面3aとの間の距離が算出される。測定対象物3はZ軸送り機構5によってZ軸方向に一定速度で駆動されており、そのときの測定対象面3aのZ軸位置がコンピュータ6に入力される。
請求項（抜粋）：
触針を、測定対象面の近傍においてその測定対象面に対して角度をなす方向に一定振幅で振動させ、その触針と測定対象面との接触を電気的導通により検出して、その導通時間の前記触針の振動周期に対する比率から、その触針の振動中心と前記測定対象面との間の距離を算出し、その距離を記録しながら前記触針の振動中心を所定の経路に沿って移動させることにより、前記測定対象面の凹凸形状を求めることを特徴とする、表面形状測定方法。
IPC (2件)：
G01B 7/34 102
, G01B 7/00
