特許

J-GLOBAL ID：200903096024148532

プロ-ブカ-ド

発明者： 山口 英伸
出願人/特許権者： 関西日本電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-008657
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201429
出願日： 1995年01月24日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】電極数がきわめて多い電子部品に対応することのできるプローブカードの提供。【構成】一端が絶縁基板14に固定され中間部が絶縁基板14上で突出した絶縁ブロック15に支持されて傾斜方向に延び遊端が電子部品のほぼ一直線上に配列された多数の外部電極に弾性接触する多数本のプローブニードル16、17、18を有するプローブカードにおいて、上記多数本一組のプローブニードルを複数組に分割し分割された各組のプローブニードル16、17、18の一端を絶縁ブロック15に対して反対側に配置するプローブカード19。【効果】ベース基板の不均一な変形が防止でき、プローブニードルの接触圧をほぼ均等にでき、その結果、接触抵抗をほぼ均等にでき、電気的特性測定を正確にできる。

請求項（抜粋）：

一端が絶縁基板に固定され中間部が絶縁基板上で突出した絶縁ブロックに支持されて傾斜方向に延び遊端が電子部品のほぼ一直線上に配列された多数の外部電極に弾性接触する多数本のプローブニードルを有するプローブカードにおいて、上記多数本のプローブニードルを複数組に分割し各組のプローブニードルの一端を絶縁ブロックに対して反対側に配置したことを特徴とするプローブカード。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (1件)

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  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-199140   出願人：パイロットインキ株式会社