特許
J-GLOBAL ID：200903096024575597
弾性表面波装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-192998
公開番号（公開出願番号）：特開平9-046164
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【課題】 弾性表面波素子の構成要素を形成するアルミ電極などのマイグレーションによる劣化を抑え、で弾性表面波装置の小型化、低コスト化を図ること。【解決手段】 圧電基板の弾性表面波が伝搬する主面と、該弾性表面波が伝搬する該圧電基板の主面に対向して内部に凹状の空間が形成されたキャップ状のガラス基板とが、凹状の空間の空間部を内側に形成するように該圧電基板の主面の周辺部とキャップ状のガラス基板の凸部とで陽極接合法で接合されている弾性表面波装置において、上記圧電基板に弾性表面波を励振または、弾性表面波を受信させるための弾性表面波素子の構成要素のうちの少なくとも一部が、上記ガラス基板の弾性表面波が伝搬する上記圧電基板の主面に対向する凹部表面上に形成されたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
圧電基板の弾性表面波が伝搬する主面と、該弾性表面波が伝搬する該圧電基板の主面に対向して内部に凹状の空間が形成されたキャップ状のガラス基板とが、前記凹状の空間の空間部を内側に形成するように前記圧電基板の主面の周辺部と前記キャップ状のガラス基板の凸部とで陽極接合法で接合されている弾性表面波装置において、前記圧電基板に前記弾性表面波を励振または前記弾性表面波を受信させるための弾性表面波素子の構成要素のうちの少なくとも一部が、前記弾性表面波が伝搬する前記圧電基板の主面に対向する前記ガラス基板の凹部内面に形成されたことを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (3件)：
H03H 9/145
, H03H 9/25
, H03H 9/72
H03H 9/145 Z
, H03H 9/25 A
, H03H 9/72
