特許
J-GLOBAL ID：200903096035723571
乾燥方法および乾燥装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-212248
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078385
出願日： 1994年09月06日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】 モータの回転による遠心力を最大限に利用しつつ、排気されるエアが半導体ウエハに逆流することを防止できる乾燥装置を提供する。【構成】 排気口4aが他のプラントの排気口も連通された共用ダクト5に連通され、モータ3の回転による遠心力を利用して半導体ウエハ2を乾燥する装置本体4と、排気口4aの排気圧P1 と共用ダクト5内の吸気圧P2 との圧力を測定する圧力測定部10と、圧力測定部10による排気圧P1 と吸気圧P2 との差圧値から、モータ3の回転速度に依存する排気圧P1 が吸気圧P2 よりも常に小さくなるようにモータ3の回転速度を制御する回転速度制御部11とを有するものである。
請求項（抜粋）：
回転駆動手段の回転による遠心力を利用して被処理物を乾燥する装置本体の排気口を吸引系に連通し、前記回転駆動手段による排気圧が前記吸引系内の吸気圧よりも常に小さくなるように前記回転駆動手段の回転速度を制御することを特徴とする乾燥方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 361
, F26B 5/04
, F26B 21/12
