特許
J-GLOBAL ID：200903096043635819
暗視野照明用部材
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-069450
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268205
出願日： 1997年03月24日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 簡素な構成でありながらもゴーストがなく、コントラストの高い画像が得られ、照明効率が高く明るい照明が可能な輪帯状の光源よりも広い観察視野を照明するための暗視野照明用部材を提供する。【解決手段】 発明による暗視野照明用部材は、光源側よりも試料側の直径が大きい略円筒結合状若しくは略円錐状の構造を持つ遮光部材を輪帯状光源と試料との間に配置するとともに、遮光部材の表面反射率を低く抑えるようにした。
請求項（抜粋）：
輪帯状光源と、物体側に向けて広がった略台錐形の第1反射面が全反射を利用したものであり、該環状光源から出射した照明光を該輪帯状光源よりも半径方向外側に位置する出射端まで導光して該出射端から試料へ向けて照明光を投射する透明導光部材と、該輪帯状光源と試料との間に配置されて光源側よりも試料側の外径が広がった形状の遮光部材とを備えたことを特徴とする暗視野照明用部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 21/10
, G02B 23/26 B
