特許

J-GLOBAL ID：200903096044749486

試料抽出方法及び装置

発明者： 佐藤 和彦 ,  ▲高▼濱 ▲高▼ ,  糸賀 敏彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立超エル・エス・アイ・エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-238140
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079957
出願日： 1995年09月18日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【構成】被分析基板表面上に抽出槽を形成し、抽出槽内に試料抽出用溶液を供給し、回収する。【効果】汚染の影響を低減した試料抽出が可能となり、基板表面上吸着物質の定量的な分析を可能とした。

請求項（抜粋）：

固体試料表面の任意の領域を一面とした抽出槽を構成し、前記抽出槽内で前記抽出槽を構成する固体試料の表面領域に試料抽出用溶液を接触させ、前記固体試料の表面の任意の領域に存在する吸着物質を前記試料抽出用溶液中に溶解または脱離し、液体試料として抽出することを特徴とする試料抽出方法。

IPC (3件)：

G01N 1/28 ,  G01N 30/04 ,  G01N 30/06

FI (3件)：

G01N 1/28 X ,  G01N 30/04 A ,  G01N 30/06 Z