特許

J-GLOBAL ID：200903096047925013

キャパシタ構造体とその製造方法

発明者： ロヒニ ガプタ ,  ジョン デビッド タウク
出願人/特許権者： ルーセント テクノロジーズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-029559
公開番号（公開出願番号）：特開2001-230379
出願日： 2001年02月06日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】 正確なキャパシタンス値と単位面積あたりキャパシタンス値の高いキャパシタとその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明のキャパシタンスは、交互に配置され、相互に接続された第1電極素子110と相互に接続された第2電極素子120とを有する2次元列と、第1電極素子と第2電極素子を分離する絶縁材料130とを有する。

請求項（抜粋）：

交互に配置された第1電極素子(110)と第2電極素子(120)とを有する2次元面列と、前記第1電極素子と第2電極素子を分離する誘電体材料(130)と、を有し、前記第1電極素子は相互に接続され、前記第2電極素子も相互に接続され、これらの列がキャパシタとして機能することを特徴とするキャパシタ構造体。

IPC (3件)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01G 4/40

FI (2件)：

H01L 27/04 C ,  H01G 4/40 A