潤滑剤分布の測定方法及び測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-109937
公開番号（公開出願番号）：特開平5-302805
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【目的】本発明は絶縁性潤滑剤を単分子又は数分子層程度塗布した表面における潤滑剤分布の測定方法及び測定装置に関し、原子間力顕微鏡を用いて正確に潤滑剤分布を測定することを目的とする。【構成】表面に絶縁性潤滑剤12による層が形成された試料11の表面と、一定電圧を印加した探針13との間の距離を一定に保ちながらXYZ走査装置21により走査する。この探針13と試料11に流れるトンネル電流に基づいて表示装置29にマッピング画像を表示する。このマッピング画像は試料11表面の絶縁性潤滑剤の分布を示す。

請求項（抜粋）：

表面に絶縁性潤滑剤(12)による層が形成された試料(11)の表面と、一定電圧を印加した探針(13)先端との間の距離を一定に保ちながら走査し、該探針(13)及び試料(11)に流れるトンネル電流の変化に基づいて、前記絶縁性潤滑剤(12)の分布形状を測定することを特徴とする潤滑剤分布の測定方法。

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