特許

J-GLOBAL ID：200903096049750547

洗浄用電解水の生成装置及びその生成方法

発明者： 加藤 琢朗 ,  向畠 眞一郎 ,  久保田 一浩 ,  山崎 孝広
出願人/特許権者： 日本カーリット株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-279552
公開番号（公開出願番号）：特開2000-107760
出願日： 1998年10月01日
公開日（公表日）： 2000年04月18日
要約：

【要約】【課題】 基板表面へのエッチング作用のない、中性の酸化性洗浄水及び還元性洗浄水の電解水が同時に得られる生成装置とその生成方法を提供する。【解決手段】 SPE隔膜2,2’を用いた電解槽A及びA’に、各々純水または超純水を供給、通電させ、電解室Aの陽極室で酸素-オゾン含有水11を、並びに電解槽A’の陽極室で酸素含有水14を、陰極室で水素含有水17を生成させる。ついで前記酸素-オゾン含有水11より分離させた酸素-オゾン混合ガス12中の不純物を除去後、前記酸素含有水14中に導入させ、ついで溶存ガス濃度を高めて、酸化性洗浄水16を得る。一方、前記水素含有水17中の溶存ガス濃度を高めて、還元性洗浄水18を得る。

請求項（抜粋）：

純水または超純水の電気分解により、陽極室で酸素-オゾン含有水を生成させる固体高分子電解質隔膜を用いた二室型電解槽Aと、純水または超純水の電気分解により、陽極室で酸素含有水を、陰極室で水素含有水を生成させる固体高分子電解質隔膜を用いた二室型電解槽A’と、前記酸素-オゾン含有水より酸素-オゾン混合ガスを分離させる手段と、前記酸素-オゾン混合ガスを前記酸素含有水中に導入させる手段と、酸素-オゾン混合ガスを導入させた酸素含有水中の溶存ガス濃度を高める手段と、前記水素含有水中の溶存ガス濃度を高める手段とを備えていることを特徴とする洗浄用電解水の生成装置。

IPC (3件)：

C02F 1/46 ,  H01L 21/304 647 ,  H01L 21/304 648

FI (3件)：

C02F 1/46 A ,  H01L 21/304 647 Z ,  H01L 21/304 648 G

Fターム (8件)：

4D061AA01 ,  4D061AB07 ,  4D061BA01 ,  4D061BB01 ,  4D061BB12 ,  4D061BB26 ,  4D061BB30 ,  4D061BD03