リードフレームの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：尾川秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-346223
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183441
出願日： 1993年12月21日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】一方の面にアウターリードとなる金属層2を有する中間金属層1の他方の面に形成された金属層3からなるインナーリードの表面上をドライフィルム7によりマスクした状態で上記金属層2を選択的にエッチングしてアウターリードを形成し、上記中間金属層1の不要部分を除去し、その後上記ドライフィルム7を除去するリードフレームの製造方法において、ドライフィルム7の剥離によりインナーリードの曲り、折れ、ドライフィルムの絡みが生じることを防止する。【構成】上記ドライフィルム7の形成前にリードフレームのインナーリード3a側の面にフォトレジスト8を少なくとも隣接インナーリード3a・3a間を埋めるように形成する工程と、ドライフィルム7の除去後にこのフォトレジスト8を除去する工程を有する。

請求項（抜粋）：

一方の面にアウターリードとなる金属層を有する中間金属層の他方の面に形成された金属層からなるインナーリードの表面上をドライフィルムによりマスクした状態でインナーリードと反対側の面の上記金属層を選択的にエッチングしてアウターリードを形成し、上記中間金属層の不要部分を除去し、その後上記ドライフィルムを除去するリードフレームの製造方法において、上記ドライフィルムの形成前にリードフレームのインナーリード側の面にフォトレジストを少なくとも隣接インナーリード間を埋めるように形成する工程と、ドライフィルム除去後に上記フォトレジストを除去する工程と、を有することを特徴とするリードフレームの製造方法

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